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半導(dǎo)體金相顯微鏡的校準(zhǔn)
更新時(shí)間:2017-11-07 點(diǎn)擊次數(shù):2846
   半導(dǎo)體金相顯微鏡的校準(zhǔn)
  半導(dǎo)體金相顯微鏡是鑒定成品材料質(zhì)量*的儀器。半導(dǎo)體金相顯微鏡主要通過材料顯微組織的定性,定量晶界組織等表征識(shí)別來對(duì)材料工藝流程,物理特性,失效成因等綜合因素做出科學(xué)的判斷,并對(duì)金屬細(xì)微結(jié)構(gòu)以及非金屬夾雜物的分布形貌等進(jìn)行科學(xué)研究。
  伴隨著經(jīng)濟(jì)進(jìn)入新常態(tài),國內(nèi)材料行業(yè)必定在供給側(cè)改革的大趨勢(shì)下迎來行業(yè)的春天。從zui傳統(tǒng)的黑色鋼鐵冶煉到zui熱門的納米材料制造無不蘊(yùn)藏著巨大的商機(jī)。那么成品材料的質(zhì)量鑒定就成為了行業(yè)突破的首要問題。其中zui重要的一項(xiàng)鑒定檢查程序就是通過一臺(tái)專業(yè)的半導(dǎo)體金相顯微鏡對(duì)材料樣品進(jìn)行金相檢驗(yàn)。
  1、物鏡場(chǎng)曲
  將一半導(dǎo)體金相顯微鏡物鏡安裝好,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊;旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕,將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間,視場(chǎng)中心成像清晰,此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位;再次旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體金相顯微鏡調(diào)焦旋轉(zhuǎn),把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣,使視場(chǎng)邊緣成像清晰。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察千分表,其zui大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差,其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
  2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
  半導(dǎo)體金相顯微鏡裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。半導(dǎo)體金相顯微鏡觀察時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合,其偏移量測(cè)是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn),其誤差不大于5%
  3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
  將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在萬工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距;調(diào)整半導(dǎo)體金相顯微鏡工作臺(tái),使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位,按每20格測(cè)量一次,直到第100格,其誤差不大于5um
  4、物鏡成像清晰范圍
  用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦,使成像清晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像zui清晰時(shí),半導(dǎo)體金相顯微鏡測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
  5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值
  裝上被檢半導(dǎo)體金相顯微鏡的10X目鏡,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊;調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與半導(dǎo)體金相顯微鏡目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù),該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為:C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。

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